電化學(xué)加工（宏微二級驅(qū)動(dòng)）工作臺(博實(shí))
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產(chǎn)品詳細(xì)介紹：
電化學(xué)加工（宏微二級驅(qū)動(dòng)）工作臺主要應(yīng)用于電化學(xué)加工方面，具有X-Y-Z方向三維宏動(dòng)和X-Y-Z方向三維微動(dòng)。宏動(dòng)平臺采用步進(jìn)電機(jī)結(jié)合高品質(zhì)滾珠絲桿。微動(dòng)平臺由三臺壓電陶瓷致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)的一維納米級精密定位工作臺MPT-1JRL003通過連接板組合而成。
在驅(qū)動(dòng)中，首先采用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的大行程、低分辨率的機(jī)構(gòu)進(jìn)行粗定位,實(shí)現(xiàn)大行程范圍內(nèi)快速地微米級定位精度，然后采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)小行程、高分辨率的微動(dòng)工作臺在微米級行程范圍實(shí)現(xiàn)對粗定位平臺的納米級誤差補(bǔ)償。 |
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| 會員級別：免費(fèi)會員 |
| 加入時(shí)間：2010-06-07
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