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產(chǎn)品型號：200*200
產(chǎn)品代碼：
產(chǎn)品價格：12999
計量單位：臺
折 扣 率： 0
最后更新：2014-07-02
關(guān) 注 度：5551
生產(chǎn)企業(yè)：北京微納通科技有限公司
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產(chǎn)品詳細(xì)介紹ABL3600氣浮平臺
1專為掃描顯微鏡/掩模/晶片檢測獨特應(yīng)用設(shè)計
2雙軸,大孔,開放式結(jié)構(gòu)
3非接觸直線編碼器反饋,精度高
4雙直線電機(jī)驅(qū)動XY軸
5所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌（空氣軸承）
行程≤250mm
精度±1um
重復(fù)定位精度±0.20um
直線度±0.50um
平面度±1um |
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| 會員級別：免費會員 |
| 加入時間：2014-07-01
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