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蝕刻清洗臺
適用產(chǎn)業(yè)：半導(dǎo)體照明（LED）--PSS工藝段、外延工藝段、芯片工藝段；
控制模式：手動控制模式、自動控制模式；
制程應(yīng)用：顯影制程； 蝕刻（微蝕刻）制程；去光阻清洗制程；去蠟（膠）清洗制程；精密清洗制程；光罩去光阻清洗制程

自動片盒清洗機(jī)
適用產(chǎn)業(yè)：半導(dǎo)體照明（LED）--半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體分立器件、集成電路、MEMS、有機(jī)發(fā)光二級管（OLED）、太陽能光伏等；
控制模式：手動控制模式、自動控制模式；
制程應(yīng)用：濕法清洗制程；
適用對象：晶片盒