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Research-磁控濺射鍍膜設(shè)備真空鍍膜機(jī)

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最后更新：2025-11-15
關(guān) 注度：418
生產(chǎn)企業(yè)：四川超邁智能裝備有限公司

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產(chǎn)品詳細(xì)介紹該設(shè)備用于納米級(jí)單層或多層膜、類金剛石薄膜、金屬膜、導(dǎo)電膜、半導(dǎo)體膜和非導(dǎo)電膜等功能薄膜的制備，可實(shí)現(xiàn)共濺射，直流、射頻兼容，特別適于科研院所和企業(yè)進(jìn)行功能薄膜研發(fā)、教學(xué)和新產(chǎn)品開發(fā)，同時(shí)可在微米級(jí)粉末或顆粒上沉積薄膜進(jìn)而達(dá)到表面改性的功能。是替代鐘罩式磁控濺射的理想選擇。
主體結(jié)構(gòu)。全封閉框架結(jié)構(gòu)，機(jī)柜和主機(jī)為一體式機(jī)構(gòu)。
極限真空度�！埽�.６３×10－5Pa，壓升率優(yōu)于國家標(biāo)準(zhǔn)。
真空配置。高速直聯(lián)旋片泵一臺(tái)，配置尾氣處理裝置，超高分子泵一臺(tái)。

四川超邁智能裝備有限公司

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