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最后更新：2025-11-13
關(guān) 注 度：4735
生產(chǎn)企業(yè)：北京歐屹科技有限公司
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產(chǎn)品詳細(xì)介紹針對(duì)相位差差別比較小的樣品，要求測(cè)量速度高的應(yīng)用，專門開發(fā)了PA系列的產(chǎn)品，測(cè)量速度快是核心
型號(hào) PA-110 PA-110-L
測(cè)量范圍 0-130nm
重復(fù)性 <1.0nm
像素?cái)?shù) 1120x868
測(cè)量波長 520nm
尺寸 310x395x605.5mm 450x538x915.5mm
觀測(cè)到的最大面積 100x136mm 250x300mm
重量 18kg 24kg
數(shù)據(jù)接口 GigE（攝像機(jī)信號(hào)） RS232C（電機(jī)控制）
電壓電流 AC100-240V（50/60Hz）
軟件 PA-View
在PA系類設(shè)備的基礎(chǔ)上，加裝晶圓專用的裝置，可以高效精確的測(cè)量SIC和藍(lán)寶石這類光學(xué)性能特殊的產(chǎn)品的雙折射和殘余應(yīng)力的信息。
應(yīng)力雙折射測(cè)量?jī)x主要特點(diǎn)：
操作簡(jiǎn)單，測(cè)量速度可以快到3秒。
視野范圍內(nèi)可一次測(cè)量，測(cè)量范圍廣。
更直觀的全面讀取數(shù)據(jù)，無遺漏數(shù)據(jù)點(diǎn)。
具有多種分析功能和測(cè)量結(jié)果的比較。
維護(hù)簡(jiǎn)單，不含旋轉(zhuǎn)光學(xué)濾片的機(jī)構(gòu)。
高達(dá)2056x2464像素的偏振相機(jī)。
應(yīng)力雙折射測(cè)量?jī)x應(yīng)用領(lǐng)域:
SIC
藍(lán)寶石
應(yīng)力雙折射測(cè)量?jī)x技術(shù)參數(shù)：
項(xiàng)次 項(xiàng)目 具體參數(shù)
1 輸出項(xiàng)目 相位差【nm】，軸方向【°】，相位差與應(yīng)力換算（選配）【MPa】
2 測(cè)量波長 520nm
3 雙折射測(cè)量范圍 0-130nm
4 測(cè)量最小分辨率 0.001nm
5 測(cè)量重復(fù)精度 <1nm（西格瑪）
6 視野尺寸 40x48mm到240x320mm（標(biāo)準(zhǔn)）
7 選配鏡頭視野 不適用
8 選配功能 實(shí)時(shí)解析軟件，鏡片解析軟件，數(shù)據(jù)處理軟件，實(shí)現(xiàn)外部控制
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| 會(huì)員級(jí)別：免費(fèi)會(huì)員 |
| 加入時(shí)間：2017-04-26
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